透镜的研发成功只是第一步。光
刻机的制造难度极大,但主要的拦路虎一共有四条。第
一是制造精度要求极高,一台光刻机数万个零件,要求的制造精度最少也是微米级,绝大多数精密部件要求精度达到亚微米级,极少数超高精密零部件的加工精度需要达到100纳米~200纳米。这
样高的精度,以国内现行的加工技术,根本做不到。人
力有时而穷,八级技工的手工打磨最高精度仅能达到亚微米级,就算秉持着十年磨一剑的精神,也磨不出精度只有100微米的极高精密零件。不
过对于钢铁城来说,这已经不是问题。实验工厂新研发的自动车床、铣床、磨床等一系列加工设备,均达到了最高精度一百多纳米的水平,完全达到了个别超高精密零部件的加工要求。
第二个是高透光度的透镜。第
三个拦路虎,则是光刻机的行动部件。
最后一个,就是短波激光光源。芯
片光刻,是通过工作台的移动,来改变光刻聚焦,对光刻胶进行刻蚀。它的运动控制部件优劣,直接决定了光刻的精度,而移动速度……
(ò﹏ò)
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