当然此时这帮人心头在痒也没用,毕竟这份资料还是属于别人的,他们唯一能做的只是继续往下研究。%%
紧跟着资料中介绍的是euv光源辐射能的收集问题。
介于euv光源发出的辐射波长极短,物质对其的吸收十分强烈,所以完全无法使用之前的透射式光学系统对辐射进行收集,所以这也的确是euv光刻技术的一大难点,不过他们研发的掠入射式光源收集系统已经基本上快要解决这个问题。
接下来在研究这份资料给出的方案时,尼康的研发人员发现这份资料给出的方案其实跟他们的研究非常近似,却又更加完善。一些微小的细节,能更好的解决这套系统在euv光源的短波长下引发的光学问题。
这无疑给了他们新的思路跟启示。可就在他们甚至忘记了时间流逝,一边不停探讨一边津津有味的看到最关键的地方时,尼玛,这些能容竟然再次被直接的胡乱掩盖掉了!
没错,就在最关键最让人期待的时候,资料上只剩下一排排参差不齐的粗黑杠!那些重要的内容全部被埋在了黑杠之下!这还当真……
(ò﹏ò)
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